襯底,分為繪圖襯底,和化工學襯底兩種。繪圖襯底指的是將圖片或文字充滿整個版面使其為底紋?;W襯底最常見的為氮化物襯底材料等。
襯底
英寸 | 直徑/mm | 拋面 | 摻雜 | 晶向 | 電阻/Ω.cm | 厚度/um |
2寸 | 50.8±0.5 |
雙拋 單拋 |
P/N | 100 | 1-20 | 200-500 |
3寸 | 76 |
雙拋 單拋 |
P/B | 100 | NA | 525±20 |
4寸 | 100±0.2 |
雙拋 單拋 |
P/N | 100 | 0.001-10 | 200-2000 |
100±0.3 | ||||||
100±0.4 | ||||||
6寸 | 150±0.3 |
單拋 雙拋 |
P/N | 100 | 1-10 | 500-650 |
8寸 | 200±0.3 |
單拋 雙拋 |
P/N | 100 | 0.1-20 | 625 |
英寸 | 直徑/mm | 拋面 | 厚度 | 備注 |
4寸 | 100±0.3 | 雙拋 | 500±10 | BF33 |
6寸 | 150±0.3 | 雙拋 | 300,500 |