光刻膠又稱光致抗蝕劑，是指通過紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射，其溶解度發生變化的耐蝕劑刻薄膜材料?？捎糜谏罟杩涛g，適合于高深寬比工藝，透明度高，垂直度好。
光刻膠
電話：0512-65821886
地址：蘇州市工業園區新平街388號騰飛創新園A1棟
| 類型 | 光刻膠型號 | 適用光譜 | 厚度um | 分辨率 | 適用工藝 |
| AZ系列 | AZ5214,AZ4620,AZ6130等 | g/h/i-line | 1-30um | 1um | 可用于深硅刻蝕 |
| SU-8系列 | SU-8 10系列，20系列等 | g/h/i-line | 0.1-400um | 0.5um | 適合于高深寬比工藝，透明度高，垂直度好 |
| PI | LTC9000系列 | g/h/i-line | 4-50um | 4um | 用于非銅襯底工藝，固化溫度最低可以達到250C° |
| 電子束膠 | HSQ Fox-15/16 | 電子束 | 100nm | 350nm-810nm | 分辨率最好的光刻膠，抗刻蝕 |
