MEMS器件設計 - 微熱板

微熱板芯片一般用于MEMS氣體傳感器，集成微型加熱器和叉指電極，微型加熱器用于為氣體傳感器提供合適的工作溫度，叉指電極用于檢測氣敏材料的電阻變化。